עיבוד מדויק במיוחד

יכולות דיוק מופלגות

מפעל Sanluo Precision משיג Extreme Precision Machining: דיוק ממדי (רמת תת-מיקרון ±0.0005 - 0.001 מ"מ, דיוק ליטוש מיוחד, רמת ננומטר ±50 - 500 ננומטר המתקרבת לגבול הפיזי); דיוק מיקום (עגול 0.0001 - 0.0005 מ"מ, שטוחות 0.0002 - 0.001 מ"מ); איכות פני השטח (ליטוש מראה סופר Ra < 0.005μm, חלקות ברמה האטומית, ערך PV < 50nm); דיוק מיקום (±0.0001 מ"מ, דיוק מיקום חוזר ±50 ננומטר, דיוק זווית ±0.5 אינץ'); מדידת ננומטר (אינטרפרומטר לייזר ±10nm, מיקרוסקופ כוח אטומי AFM 1nm, STM מיקרוסקופ מנהור סורק 0.1nm).

דיוק תחנת עבודה

בקרת סביבה קיצונית

כיצרנית מקצועית של עיבוד שבבי מדויק במיוחד, בקרת סביבה קיצונית: חדרים נקיים במיוחד בדרגה 1-10 (בקרת חלקיקים < 10 חלקיקים/מ"ר); טמפרטורה ולחות קבועים (טמפרטורה 20 ± 0.02 מעלות צלזיוס, לחות 50 ± 0.5%); פלטפורמת בידוד רטט אקטיבית (6 דרגות של בקרת חופש, רטט < 0.01 מיקרומטר, יעילות בידוד רטט > 99%); תאי ואקום (דרגת ואקום 10^-6 - 10^-8 Pa, יעילות מיגון אלקטרומגנטי > 80 dB, הגנה על גז אינרטי מפני חמצון). תחומי יישום: ייצור מוליכים למחצה (הקרנה סטיית גל אובייקטיבית של מכונות פוטו-ליטוגרפיה < 5 ננומטר RMS, דיוק מיקום נושאת פרוסות ± 10 ננומטר), אופטיקה מדויקת (שטוח מראה רפלקטיבית זיהוי גל כבידה 0.0001 מ"מ פני השטח Ra < 0.5 ננומטר λ0, דיוק משטח אסטרונומי 0. הנדסת תעופה וחלל (דרגה כדורית של ניווט אינרציאלי גירוסקופ 0.0001 מ"מ סחיפה < 0.001°/h), מחשוב קוונטי (דיוק גרפי של שבב קוונטי מוליך-על ± 10 ננומטר, יציבות תדר חלל אופטי של שעון אטומי 10^-16). חברת Sanluo Precision סיפקה שירותי עיבוד דיוק קיצוני מותאמים אישית עבור אינטל, TSMC, Huawei, MIT, אוניברסיטת Tsinghua וכו', תוך פריצת מגבלות עיבוד כדי לשרת את הייצור המדויק.

פרמטרים טכניים של ציוד